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各类型洁净室的洁净度与适用和分类表参考

华锐净化 2021-03-31 14:24 阅读

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各类型洁净室的洁净度与适用和分类表参考
工业(ICR)之洁净度与适用和分类表
洁净度
产业别
洁净度(0.5μm/ft3
1
10
100
1000
10000
100000
300000
LSI制造工程          
LSI组立检查工程          
()单结晶              
照像光罩photo mask        
光阻涂膜photoresist        
一般液晶(tn,stn)              
显示用液晶(tft,mim)          
投影用液晶(tft)          
混合(hybrid)IC
x
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